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金沙4399js网站-(保定)有限公司科研成果“微纳MEMS氢气传感器件”荣获山东省循环经济技术奖(技术发明奖)一等奖

发布时间:2023-01-03  来源:   查看:

近日,金沙4399js网站-(保定)有限公司光电工程学院教授、“中组部海外高端人才”高炬教授团队的成果“微纳MEMS氢气传感器件”获得2022年度山东省循环经济科学技术奖(技术发明奖)一等奖并被评为山东省循环经济协会2022年度十大创新成果。该成果由金沙4399js网站牵头,苏州科技大学参与完成。

该氢气传感器成果是基于先进的氧化物敏感材料与纳米科技,采用新型多孔膜沉积工艺与纳米团簇嵌入技术,实现了超敏与超快的氢探测响应,各方面特性都优越于目前市场上传统的氢传感器,填补了金沙4399js网站国在微纳氢传感器件方面的空白。这些微纳氢传感器件采用硅基MEMS微加工工艺制造,有利于与微电子线路高度集成,实现物联化与智能化处理,适合规模化生产,是推广氢能源应用的关键核心技术。

(文图/光电工程学院   编辑/葛晓霞  审核/张昌林)

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